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轮廓术显微镜

发表时间:[2018-8-9 8:58:56]

模型

    Zygo NewView 100 3D成像表面结构分析仪

工作原理

    干涉测量法是一种传统技术,其中亮线和暗线(条纹)的图案由参考光束和样本光束之间的光程差产生。入射光在干涉仪内部分开,一个光束到达内部参考表面,另一个光束到达样品。在反射之后,光束在干涉仪内部重新组合,经历相长干涉和相消干涉并产生光和暗条纹图案。精确平移台和CCD摄像机一起生成存储在计算机存储器中的对象的3D干涉图。然后通过频域分析将该物体的3D干涉图转换成提供表面结构分析的定量3D图像。

功能

    • 具有X和Y平移的paracentric倾斜和尖端平台可轻松容纳高达150mm x 150mm x 100mm的部件
    • 相机分辨率:320 x 240
    • 目标:10倍和40倍
    • 视场:0.09mm x 0.065mm至1.4mm x 1.06mm
    • 最小横向分辨率:0.36μm至2.92μm
    • 最小空间采样:0.22μm至8.8μm
    • 垂直分辨率:0.1nm
    • 仪器重复性:0.3nm R q(平均值+ 2 sigma)
    • 最大垂直台阶高度:100μm范围
    • 步高精度:1.5%
    • 数据采集时间:2.0μm/ sec
    • 涂覆后可以分析透明物体或涂层

应用

    • 表面粗糙度量化:   
    • 用于测量薄膜或涂层厚度的步高测量:   
    • 峰谷测量
    • 溅射率测量
    • 磨损率测量
    • 表面的三维图像 - 平面,圆柱面和球面:  
    • 解决摩擦问题
    • 评估表面以获得合适的粘合剂粘合粗糙度
    • 解决振动和噪音问题
    • 解决流体泄漏和密封问题
    • 解决外观问题
    • 表面粗糙度对表面电导率或电阻有影响

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